AG九游会APP·产品与市场
Product & Market平板显示行业常用化学品
1. 铝蚀刻液、钼铝蚀刻液、钼铝钼蚀刻液
此类AG九游会APP·产品对具有不同结构信息的单层/多层金属进行有效蚀刻(Mo、MoAl、MoAlMo),形成符合工艺要求的布线
2. 铝钛蚀刻液
该AG九游会APP·产品对具有不同结构信息的多层金属(TiAl、TiAlTi)进行蚀刻,形成符合工艺要求的布线:CD loss ≤2.75μm Taper ≤ 30°
3. ITO蚀刻液(草酸系、盐酸系、醋酸系)
此系列AG九游会APP·产品应用于ITO膜层的蚀刻制程,蚀刻精度高、无残留,蚀刻后形貌:Taper <90°
4. 剥离液
剥离液应用于PR的去除制程,剥离效果好,无PR残留且不腐蚀金属布线
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剥离后 |
5. 稀释剂
稀释剂应用于有机物的去除及清洗、边胶去除等制程
6. 单品类(硝酸、冰乙酸、NMP)
此类AG九游会APP·产品应用于有机物的去除、清洗、蚀刻液成分补充等功能